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邁可諾技術(shù)有限公司

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    如何優(yōu)化氧等離子去膠效果

    閱讀:207 發(fā)布時(shí)間:2020/10/19

    等離子去膠辦法,去膠氣體為氧氣。其工作原理是將硅片置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中,通入少量氧氣,加到1500V高壓,由高頻信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號(hào),使石英管內(nèi)形成強(qiáng)的電磁場(chǎng),使氧氣電離,形成氧離子、活化的氧原子、氧分子和電子等混合物的等離子體的輝光柱。活化氧(活潑的原子態(tài)氧)可迅速地將聚酰亞胺膜氧化成為可揮發(fā)性氣體,被機(jī)械泵抽走,這樣就把硅片上的聚酰亞胺膜去除了。等離子去膠的優(yōu)點(diǎn)是去膠操作簡(jiǎn)單、去膠效率高、表面干凈光潔、無劃痕、成本低、環(huán)保。

     

    Tergeo等離子系統(tǒng)可以測(cè)量等離子發(fā)射光強(qiáng)度。等離子體發(fā)射光隨不同的氣體種類而變化很大。在氧等離子體光致抗蝕劑灰化過程中,會(huì)產(chǎn)生CO,CO2,H2O型副產(chǎn)物,這會(huì)大大改變等離子體的發(fā)射強(qiáng)度。因此,可以通過監(jiān)視等離子體發(fā)射強(qiáng)度來監(jiān)視灰化過程的進(jìn)度。

     




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